SK하이닉스가 반도체 공정에 AI 솔루션을 도입해 생산 운영 효율 및 수율 개선에 나섰다고 10일 밝혔다.

SK하이닉스가 투자한 산업 AI 전문 스타트업 ‘가우스랩스’는 지난해 11월 가상 계측 AI솔루션 파놉테스 VM(Panoptes VM) 소프트웨어 제품을 출시했다.

SK하이닉스는 12월부터 파놉테스 VM을 양산 팹(Fab)에 도입해 사용하고 있다.

파놉테스 VM은 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다.

SK하이닉스는 파놉테스 VM 도입을 통해 공정 산포 평균 21.5% 개선 및 수율까지 향상되는 효과를 얻었다.

파놉테스 VM이 우선적으로 도입된 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심 과정으로 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다.

미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에는 많은 시간과 자원이 소요되는 만큼 전수 계측하는 것은 어렵다.

SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 횡전개 확대 진행을 검토하고 있다.

김영한 가우스랩스대표는 “가우스랩스는 AI 기술을 통해 제조 현장에 의미 있는 효과와 큰 가치를 제공할 수 있는 난제들을 공략해 해결하고 있다”라며 “파놉테스 VM을 필두로 제조업에 혁신을 이끌어 나갈 제품들을 지속 개발할 것”이라고 말했다.

김영식 SK하이닉스 제조/기술 부사장은 “SK하이닉스는 가우스랩스와의 협력을 통해 지능화된 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다”며 “반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것”이라고 설명했다.