SK하이닉스는 제9회 산학연구과제 우수발명 포상을 실시했다고 3일 밝혔다.

최우수상은 ‘이온 소스 헤드 및 이를 포함하는 이온 주입 장치’ 특허를 낸 이호준 부산대학교 교수가 받았다.

이 특허는 고진공·저유량에서도 고주파 플라즈마를 생성할 수 있어 기존 대비 플라즈마 효율을 향상시키고 이온 소스 사용주기를 2배 이상 개선해 비용 절감 장점이 있다.

우수상은 노삼혁 울산과학기술원 교수가, 장려상은 박찬혁 이화여자대학교 교수, 노원우 연세대학교 교수, 전정훈 성균관대학교 교수가 각각 받았다.

SK하이닉스는 지난 2013년부터 산학협력 대학교가 연구과제 수행과정에서 출원한 특허 중 우수특허를 선별해 포상하고 있다.

이는 연구자의 사기를 북돋우고 개발을 장려하기 위한 것이라고 SK하이닉스는 설명했다.